半導(dǎo)體電子超純水電阻率溶解氧標準及監(jiān)測解決方案

2025.07.07　瀏覽量：136 次

在半導(dǎo)體和電子行業(yè)中，超純水的水質(zhì)對生產(chǎn)過程和產(chǎn)品質(zhì)量有著至關(guān)重要的影響。超純水的電阻率和溶解氧是衡量水質(zhì)的關(guān)鍵指標，直接影響到半導(dǎo)體器件的制造和電子產(chǎn)品的性能。因此，嚴格遵守相關(guān)的水質(zhì)標準并進行實時監(jiān)測是確保生產(chǎn)順利進行和產(chǎn)品質(zhì)量的重要保障，下面就和贏潤集團工作人員一起來了解一下吧！

根據(jù)《ASTM D5127-13(2018) 電子和半導(dǎo)體行業(yè)超純水標準指南》，電子和半導(dǎo)體行業(yè)超純水水質(zhì)的電阻率和溶解氧標準可以分為以下七個類型：

類型	電阻率 (MΩ·cm @ 25℃)	溶解氧 (μg/L)
E-1	18.1	25
E-1.1	18.2	10
E-1.2	18.2	3
E-1.3	18.2	10
E-2	16.5	-
E-3	12	-
E-4	0.5	-

這些標準為半導(dǎo)體和電子行業(yè)提供了明確的水質(zhì)要求，確保超純水在生產(chǎn)過程中能夠滿足高質(zhì)量標準。

為了確保超純水的水質(zhì)符合上述標準，贏潤集團研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-SZ1S-A-A4水質(zhì)電阻率在線監(jiān)測分析儀和ERUN-SZ4-A-A5水質(zhì)微量溶解氧在線分析儀，為超純水的實時監(jiān)測提供了高效、可靠的解決方案。

ERUN-SZ1S-A-A4水質(zhì)電阻率在線監(jiān)測分析儀主要特點：
★高精度測量：采用先進的傳感器技術(shù)，確保測量結(jié)果的準確性和可靠性。
★實時監(jiān)測：能夠連續(xù)實時在線監(jiān)測超純水的電阻率，及時發(fā)現(xiàn)水質(zhì)變化。
★數(shù)據(jù)傳輸：支持 4-20 mA 模擬量信號和 RS485（ModBus-RTU）數(shù)字量信號遠程傳輸監(jiān)控，方便用戶進行遠程監(jiān)控和數(shù)據(jù)管理。
★防護等級高：設(shè)備具有 IP65 防護等級，能夠有效防止灰塵和水濺，適應(yīng)各種復(fù)雜的工作環(huán)境。
★低功耗設(shè)計：采用低功耗設(shè)計，確保設(shè)備長時間穩(wěn)定運行，減少維護成本。

ERUN-SZ4-A-A5水質(zhì)微量溶解氧在線分析儀主要特點：
★高靈敏度檢測：采用先進的光學(xué)傳感器技術(shù)，能夠高靈敏度地檢測微量溶解氧。
★實時監(jiān)測：能夠連續(xù)實時在線監(jiān)測超純水中的溶解氧濃度，確保水質(zhì)符合標準。
★數(shù)據(jù)傳輸：支持 4-20 mA 模擬量信號和 RS485（ModBus-RTU）數(shù)字量信號遠程傳輸監(jiān)控，方便用戶進行遠程監(jiān)控和數(shù)據(jù)管理。
★防護等級高：設(shè)備具有 IP65 防護等級，能夠有效防止灰塵和水濺，適應(yīng)各種復(fù)雜的工作環(huán)境。
★低功耗設(shè)計：采用低功耗設(shè)計，確保設(shè)備長時間穩(wěn)定運行，減少維護成本。

贏潤集團的水質(zhì)監(jiān)測設(shè)備廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
▲半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體制造過程中，實時監(jiān)測超純水的電阻率和溶解氧，確保水質(zhì)符合生產(chǎn)標準。
▲電子行業(yè)：在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，監(jiān)測超純水的水質(zhì)，確保產(chǎn)品質(zhì)量。
▲實驗室研究：為研究人員提供準確的水質(zhì)監(jiān)測數(shù)據(jù)，支持相關(guān)研究和開發(fā)工作。
▲工業(yè)生產(chǎn)：在其他需要高純水的工業(yè)生產(chǎn)中，監(jiān)測水質(zhì)，確保生產(chǎn)過程的順利進行。

在半導(dǎo)體和電子行業(yè)中，超純水的電阻率和溶解氧是關(guān)鍵的水質(zhì)指標。通過嚴格遵守相關(guān)的水質(zhì)標準并使用先進的監(jiān)測設(shè)備，如贏潤集團的 ERUN-SZ1S-A-A4 水質(zhì)電阻率在線監(jiān)測分析儀和 ERUN-SZ4-A-A5 水質(zhì)微量溶解氧在線分析儀，可以有效確保超純水的水質(zhì)符合生產(chǎn)要求，保障生產(chǎn)過程的順利進行和產(chǎn)品質(zhì)量。選擇合適的監(jiān)測設(shè)備，讓水質(zhì)管理變得更加智能、高效。